高精度耦合需求：硅光元件耦合难度大、耗时长，需解决低耦合效率与高损耗问题。

多自由度对准：多通道输入/输出、元件对准需在多个自由度（如位置、角度）同步优化。

自动化测试：传统方案自动化程度低，难以应对高复杂度器件的并行测试需求。

效率与精度平衡：需在高速测试下保持亚微米级对准精度，尤其对Micro-LED等器件要求严苛。

SEMISHARE V系列探针台 硅光子测试系统

基于SEMISHARE V系列半自动探针台，集成了PI六轴高精度光纤校准系统，是专为硅光子器件测试的一款高效的半自动探针台测试系统。硅光测试，实现正确的耦合十分困难，而且十分耗费时间，再有当今的硅光子元件比以往具有更高的复杂程度，具有多个互相作用的输入输出、多个通道、以及元件对准等，均需要在多个自由度上进行优化，以保证检测的进行。SEMISHARE 集成PI的对准自动化方案基于固件算法的深度工具包，能够提供精确的优化。其独特的全并行技术能够对多个自由度、跨通道的多个输入和输出进行优化，甚至可以对多个装置同时进行优化。

SEMISHARE V系列硅光子测试系统正是集成了PI六轴高精度光纤校准系统，基于六轴位移台的解决方案提供了可自由选择支点，确保用户能够通过围绕光束腰、焦点或光轴旋转的方式进行优化，从而进一步提高测试效率。

• 设备配置

  >V系列新一代高性能探针台More

• 测试对象

  硅光子器件

• 测试精度

  1. 目前业界最快的测试系统，运行速度超70mm/s，运动精度可达sub-micron级别
  2.XY轴重复定位精度±1μm, Z轴重复定位精度±1µm
  3. 可-50~200℃变温以及实现高低温环境下超高的chuck平整度
  4. 温控精度和稳定性均优于0.1℃
  5. 三轴(signal,guard,ground)结构, 提供fA级电学测试能力和极低的寄生电容
  6. 带femto-guard™设计，具备极低的系统漏电水平
  7. EMl, Spectral noise/光密闭屏蔽腔,提供最佳noise测试环境

• 测试过程

  1.移动到校准位置
  2.单光纤/FA位置测量
  3.调整θz(W)\0x(U)\y(V)
  4.单光纤/FA伸出长度测量
  5.移动到准备测试位置
  6.移动至耦合位置
  7.搜索初始光
  8.快速耦合
  9.硅光参数测量

• 测试亮点

  1.光纤探针的自动耦合采用6轴位移台实现，另外增加压电陶瓷纳米定位器。实现高精度、高重复性的亚微米对准精度。
  2.光学元件的测试与封装面临多自由度挑战，系统通过内置子程序实现高速对准。其检测、区域扫描和梯度扫描算法适用于各类耦合处理，速度快、可靠性高，可在1秒内完成输入输出同步对准。算法还支持扫描数据自动建模，即使在快速粗扫中也能精确定位最优值。
  3.模块化灵活配置：支持加装loader，提供全自动测试功能。从实验室（LAB）到产线（FAB）的无缝衔接，满足封测一体（OSAT/Foundries）及光模块/光引擎的测试标准化。
  4.多倍率光学显示系统，高精度测量与动态监控。
  5.支持晶圆级（8″-12″）、多芯片、单芯片测试，预留射频（RF）及电学测试模块接口，兼容OO/OE/EO/RF全类型光电测试需求。

• 测试现场