高低温高压卡盘

高低温高压三轴槽型卡盘

规格：-60°C至200°C/-60°C至300°C；3KV/10KV

尺寸：8,12寸

特点：
开尔文三轴式(M)，3kV或10kV同轴式连接
500A脉冲同时满足-60°C至+300°C的测试温度需求
可以保证在高达万伏的高压下超低漏电、免击穿

高低温卡盘

高低温三轴槽型卡盘

规格：-50/-60℃到200℃

尺寸：8,12寸

特点：
在无制冷机的情况下，温度可低至-10℃
在有制冷机的情况下，8寸温度可低至-60℃，12寸温度可低至-55℃
仅空气 - 无液体或 Peltier 元件
模块化系统，适应个性化测试要求定制化
无需单独的吹扫空气源
兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针
提供完整的硬件和软件集成

常温卡盘

常温多孔卡盘

规格：同轴/三轴/射频/高压

尺寸：4,6, 8,12寸

特点：
多区域独立吸附/三段式真空吸附
模块化系统，适应个性化测试要求定制化
兼容所有主要的生产探针和所有主要的分析探针
提供完整的硬件和软件集成