随着中国半导体技术的迅速发展，多个12寸晶圆厂以及实验室的建立，逐步出现对于12寸晶圆检测的Probe的需求提高，目前12寸晶圆的Prober多数都依赖于进口设备（日，美），呈现需大于求的状况，因此国内迫切需要研发中国自主型的12寸晶圆的检测类设备，以解决目前仅依赖于国外进口的困局。

我国现有的半导体芯片测试探针台，长时间工作后容易晃动，操作探针时，因探针台固定不稳定，容易出现测试失误，给使用者带来不便。

技术名称：一种半自动晶圆探针台测试测量技术（ThreeInone^TM技术）

专利申请号：201910551072.8

ThreeInone^TM技术在于提供一种高稳定性能的探针台及半自动晶圆测试设备。通过探针台低重心的稳定结构，解决了晶圆测试中设备容易晃动并影响测试精度的问题，最终保证探针台高稳定性能的工作，使得测试达到高精准度。

设备同时还装配有行业领先的3ZOOM^TM显微镜。用以兼容6寸、8寸和12寸晶圆的测试，在图像中能观察到3ZOOM^TM的成像效果，无需进行镜头和倍率的切换，同时3ZOOM^TM的呈现满足晶圆以及实验室中绝大多数的样品，兼容性高，同时也提高了各个测试的效率。

ThreeInone^TM技术提供的一种用于晶圆测试的探针台，所述探针台包括第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构的底面积依次递减，并依序向上堆叠；所述探针台通过所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构控制所述晶圆沿第一方向、第二方向和第三方向往复运动及以所述第三方向为轴线旋转运动。

进一步地，所述第一运动机构包括铸件底板和置于所述铸件底板上沿第一方向设置的多条第一导轨，所述第一导轨为刚性多孔结构。

进一步地，所述第一方向、第二方向和第三方向互相垂直，所述第一方向与所述第二方向与水平面平行，所述第三方向与水平面垂直。

进一步地，所述第一运动机构还包括第一电机，所述第一电机驱动所述第一导轨上的部件沿第一方向运动。

进一步地，所述第二运动机构包括底板以及置于底板上沿第二方向设置的第二导轨和第二电机，所述第二电机驱动所述第二导轨上的部件沿第二方向运动。

进一步地，所述第三运动机构包括沿第三方向设置的第三电机、导向轴、顶板和旋转电机，所述第三电机驱动固定于所述导向轴上的部件沿第三方向运动，所述旋转电机驱动顶板以第三方向为轴线旋转。

进一步地，所述探针台还包括壳体，所述壳体内置所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构，所述壳体为干燥的密封结构，且内外表面均可导电。

ThreeInone^TM技术还提供一种半自动晶圆测试设备，包括所述的探针台和位于所述探针台上方的显微镜；所述显微镜同时提供三种倍率成像，用以兼容6寸、8寸和12寸晶圆的测试。

进一步地，所述显微镜包括壳体、位于壳体外底面物镜、内置于壳体高度不一的三组相机组件及位于壳体内底面的反射镜，所述反射镜折射所述三组相机组件的光路并汇总于所述物镜。