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产品概况 功能结构 规格参数 资料下载 视频

E系列增强型手动探针台

产品概要

E 系列是一款功能进阶级探针台,能实现 1μm 以上的电极 Pad 测试,工效学设计简单易操作,灵活的 UPStart™ 模块化设计, 客户可通过最低的成本升级更多的测试功能,如:毫米波 mmW,FA、MEMS、WLR 和光电等测试。

基本信息

产品型号 E4/E6/E8/E12 工作环境 开放式
电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台
产品尺寸 680mm长*670mm宽*760mm高 设备重量 约95KG

应用方向

LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二极管、三极管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等

技术特点

POMater™ 自适应隔震底座

自适应减震底座设计,德国进口隔震材料增强弹性支撑,实现不同程度的刚性硬度和承载范围,并有效过滤环境中的震动源干扰,确保探针末端和样品的Pad稳定接触,提升测试的稳定性

卡盘可升降调节

卡盘可微调升降,行程 5mm,精度 10μm,便于样品快速分离探针。

显微镜气动式快速升降

显微镜气动式快速升降,便于更换显微镜和探针卡夹具。

大尺寸机台设计

大尺寸机身结构,增强操作舒适度。更大空间的针座平台,支持 加载针卡,提升点针测试效率。

机台定制应用案例

1、石英样品台6英寸,玻璃样品台卡在不锈钢上,不锈钢卡盘通过立柱固定在X-Y平移台上部 2、玻璃样品台采用高透紫外线玻璃,透光波长单位200nm-1100nm透光率85%以上,样品固定方式采用弹片固定 3、两个样品台可以拆卸使用

E系列增强型手动探针台

型号

E4

E6

E8

E12

外形(长*宽*高/mm

680*670*760mm

680*670*760mm

750*670*800mm

1030*800*850mm

重量(KG)

约90kg

约95kg

约110kg

约210kg

电力需求

220VC,50~60Hz

卡盘

常温标准

卡盘尺寸

4"

6"

8"

12"

样品固定方式

环形真空吸附(可定制多孔吸附)

背电极测试功能

有,样品台电学独立悬空

卡盘材质

不锈钢/铜镀镍或镀金


卡盘

移动平台

Theta行程

360°旋转(粗调);微调范围±8°,微调精度0.002°

卡盘升降

卡盘台可以上下快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1μm

X-Y行程

100*100mm

150*150mm

200*200mm

250*250mm

移动精度

10μm

卡盘快速拉出

N/A

控制方式

小型旋钮驱动

针座平台

外形尺寸

长550mm*宽405mm

长720mm*宽405mm

长980mm*宽480mm

卡盘到平台距离

8mm(卡盘上表面与针座平台下表面)

针座数量

最多可放6个针座

最多可放8个针座

最多可放10个针座

针座平台升降

N/A

针座定位方式

磁力吸附或真空吸附

光学特性

镜头规格

标配PSM-1000金相显微镜/可选(GX-6金相,体视,视频)显微镜

放大倍数

20-2000X

CCD像素

3种CCD可选:200W(数字)/500W(数字)/650W(数字)

运动控制

Z 轴移动行程 50.8 mm,同轴旋钮调节,细调精度优于1μm

显微镜行程

显微镜2英寸XY平移台范围内移动

显微镜移动精度

1μm

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

10μm/2μm/0.7μm

漏电精度

同轴1pA/V @25℃;三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C,
测试条件:接地屏蔽的干燥环境(空气露点低于-40°C)


接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口





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