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产品概况 功能结构 规格参数 资料下载 视频

A系列全自动探针台

产品概要

支持Sic/Gan晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温测试环境测试

基本信息

产品型号 A8、A12 工作环境 开放式
电力需求 220V,50/60Hz 操控方式 全自动
产品尺寸 A8(1124 x 1111 x 925) ;A12(1600 x 1660 x 1450) 设备重量 1.2T, 2T

应用方向

晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等

技术特点

A8全自动探针台


●小尺寸轻重量,更小的占地面积
●微米级全闭环运动控制
●伯努利手臂支持薄片
●高精度和测试速度,大大提高测试效率
●24*7全天候在片探测
●高压大电流测试应用

A12全自动探针台


●高测试精度与测试速度,大大提升产能效益
●全自动化系统运行,快速安全可靠测试
●支持单点测试和连续测试
●综合控制系统,快速接入仪器测试
●CHUCK高效测试系统,运行速度超200mm/s
●丰富的软件自动化测试 ,机械精度精确校准
●可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
●内部防震系统装置,运行更稳定

A系列全自动探针台
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