硅光测试技术背景

硅光子器件基于光电转换效应，广泛应用于光通信、光传感、光计算等领域。其核心包括光芯片、光模块及复杂的光电器件（如激光二极管、光电探测器等）。由于硅光元件具有高集成度、多通道交互及精密对准需求，测试需涵盖物理、光学、电学等多维特性，以确保性能与可靠性。

硅光测试需求与挑战

高精度耦合需求：硅光元件耦合难度大、耗时长，需解决低耦合效率与高损耗问题。

多自由度对准：多通道输入/输出、元件对准需在多个自由度（如位置、角度）同步优化。

自动化测试：传统方案自动化程度低，难以应对高复杂度器件的并行测试需求。

效率与精度平衡：需在高速测试下保持亚微米级对准精度，尤其对Micro-LED等器件要求严苛。

SEMISHARE V系列探针台 硅光子测试系统

基于SEMISHARE V系列半自动探针台，集成了PI六轴高精度光纤校准系统，是专为硅光子器件测试的一款高效的半自动探针台测试系统。硅光测试，实现正确的耦合十分困难，而且十分耗费时间，再有当今的硅光子元件比以往具有更高的复杂程度，具有多个互相作用的输入输出、多个通道、以及元件对准等，均需要在多个自由度上进行优化，以保证检测的进行。SEMISHARE 集成PI的对准自动化方案基于固件算法的深度工具包，能够提供精确的优化。其独特的全并行技术能够对多个自由度、跨通道的多个输入和输出进行优化，甚至可以对多个装置同时进行优化。

SEMISHARE V系列硅光子测试系统正是集成了PI六轴高精度光纤校准系统，基于六轴位移台的解决方案提供了可自由选择支点，确保用户能够通过围绕光束腰、焦点或光轴旋转的方式进行优化，从而进一步提高测试效率。