助力行业客户量测技术应用，森美协尔先进探针台测试应用解决方案已广泛应用于半导体测试测量领域，以创新先进的晶圆探针台技术、优质的产品质量和服务为业内广大客户提供先进的探针台解决方案，助力行业客户测试测量技术应用，有效提质增效，多年来森美协尔深得客户信赖。
先进探针台解决方案 助力客户量测技术应用
01 高校教育实验室解决方案
■测试对象：
4inch/6inch晶圆i-v ，c-v曲线，P-iv 测试
■设备配置：
SEMISHARE SM-6 晶圆探针台(16-100X光学放大)+SEMISHARE SS-40探针座*4(10微米精度)+keithley 2400 测量源表
■测量精度：
40微米以上电极点测，10pA以内漏电精度
02 高频测试解决方案
■测试对象：
对微波器件进行S参数测试、波量测试、比值测试，包括幅度、相位、延时等测试
■设备配置：
SH-C-6探针台、HCC高低温控制系统、Proscan半自动控制系统、PSM-1000显微镜、CCD成像系统、SS-100探针座、SS-00-RF射频调节机构、VP0125真空泵、Daeil防震系统
■优异的性能指标：
1.卡盘尺寸不小于6英寸，X-Y-Z移动行程不小于150mm✕150mm✕10mm, 兼容手动和半自动控制方式，对应精度0.1μm✕0.1μm✕0.1μm ，Theta轴电动旋转±5°，精度0.001°。
2.卡盘采用独立吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，独立吸附孔直径可选择500 微米以下，除了最大尺寸外能够兼容使用50.8mm✕50.8mm，50mm✕60mm，60mm✕70mm陶瓷方片，以及单个小尺寸样品（小尺寸样品尺寸大于吸附孔直径）。同时配备吸盘夹具，夹具上有定位标示满足三种尺寸有孔的陶瓷方片吸附测试。
03 晶圆高低温测试解决方案
■测试对象：
8inch/12inch 晶圆i-v ，c-v曲线，P-iv 测试
■设备配置：
semishare SC-8 晶圆探针台(20-1000X光学放大)+semishare HCT-80 高低温卡盘+semishare SS-700-D 探针座*4(0.1微米精度)+semishare 防震屏蔽系统+keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■测量精度：
0.5微米线路内部点针，100fA 以内漏电精度，-80℃~200℃温度控制
04 高功率测试解决方案
■测试对象：
IGBT，SiC等大功率器件反向截止电压和正向电流动，静态测试，偏压c-v测试，Q值测试，晶圆i-v ，c-v曲线，P-iv 测试等
■设备配置：
SEMISHARE X12半自动晶圆探针台(120X–2000X光学放大)+SEMISHARE HCC-60 高低温卡盘+SEMISHARE SS-700探针座*4(0.1微米精度)+SEMISHARE 防震屏蔽系统+keysight B1505B或Keithley 4200 PCT-4测量源表
■测量精度：
0.5微米线路内部点针，100fA以内漏电精度，电压：10KV，电流：500A（脉冲），样品RT~550℃精确温度控制
05 低温真空测试解决方案
■测试对象：
4inch以内晶圆，材料，器件i-v ，c-v曲线，电阻率，霍尔测试
■设备配置：
semishare SCG-4 低温真空探针台(20-240X光学放大)+探针座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系统+keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■测量精度：
40微米以上电极点针测试，100fA以内漏电精度，4~500K温度测试范围，1mK温控精度，100mK温度均匀性
06 超高气压环境测试解决方案
■测试对象：
4inch以内晶圆真空和高压环境下，材料，器件i-v ，c-v
■设备配置：
semishare SCG-4 高低温高压探针台(20-240X光学放大)+探针座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系统+keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■测量精度：
40微米以上电极点针测试，10^-14Pa~ 1Mpa压力可调，100fA 以内漏电精度，4~500K 温度测试范围，1mK温控精度，100mK温度均匀性
作为全球先进的探针台设备主流供应商，森美协尔先进探针台测试应用解决方案将持续助力行业技术应用，为半导体量测设备领域的各大知名客户提供先进的探针台解决方案，共同推动半导体生态产业加速，迈向科技未来。