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    A12全自动探针台

    产品概要

    支持Sic/Gan晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温测试环境测试

    基本信息

    产品型号 A12 工作环境 开放式
    电力需求 220VAC±10V/50Hz/2.2KW 操控方式 全自动
    产品尺寸 WDHmm1660 x 1770 x 1015 ; 1660 x 1700 x 1455 设备重量 1700kg

    应用方向

    晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等

    技术特点

    产品特点

    ●高测试精度与测试速度,大大提升产能效益 ●全自动化系统运行,快速安全可靠测试 ●支持单点测试和连续测试 ●综合控制系统,快速接入仪器测试 ●CHUCK高效测试系统,运行速度超200mm/s ●丰富的软件自动化测试 ,机械精度精确校准 ●可升级自动wafer厚度测量和ID读卡 ●内部防震系统装置,运行更稳定


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