产品概要
SEMISHARE A系列全自动探针台面向先进工艺的SoC、逻辑、存储及功率芯片，提供高精度WAT与CP测试。综合扎针精度可达±2μm（丝杠）/±1.5μm（直线电机），通过自研微米级全闭环运动控制系统与光学定位系统，配合先进的图像软件算法、自研预对准模块及高稳定性一体化铸件，实现了自动精准定位扎针，有效弥补了国内探针台在高精度运动控制领域的技术短板。关键性能方面，温控范围为-50℃至200℃（可选配-60℃至300℃），控温精度达0.1℃，漏流达fA级别，可满足射频、功率、噪声等复杂测试的7×24小时全天候在片测试需求。
基本信息
| 产品型号 | A8、A12S、A12W | 工作环境 | 开放式 |
| 电力需求 | 220V，50/60Hz | 操控方式 | 全自动 |
| 产品尺寸 | A8(1125mmL*1160mmW*955mmH) ；A12W(1575mmL*1475mmW*1385mmH)；A12S(1750mmL*1500mmW*1385mmH) | 设备重量 | 1.2T, 2T, 1.75T |
应用方向
面向先进工艺的SOC，MEMORY，逻辑和功率Wafer等进行WAT，CP测试，同时在先进板级封装、frame晶圆、双port、电动针座和四线法测试等特殊应用都有实际案例。目前已在多家foundry、封测企业量产。
技术特点
A12S全自动探针台（WAT测试专用）
● 场景适配覆盖广泛：专为晶圆级 WAT 测试深度定制，兼容方片、WLR 等多种测试场景；自研一体化 hinge 结构可对接keysight、广立微等主流 WAT 测试机，配套成熟整体方案，减少客户集成调试成本。
● 精度与稳定性升级：升级运动控制、视觉对准、通信反馈核心模块，搭配微米级全闭环运动控制、光学定位与全新图像算法，实现高精度自动扎针；自研连续跑片算法支持无人值守批量长时间测试，针痕一致性好，满足 WAT 高稼动连续生产要求。
● 自动测试高效运行：搭载自研预对准模块，实现晶圆无损自动上下片，支持 7×24 小时不间断在片探测，晶圆传输安全高速。
● 测试程序高效管理：针卡档案统一管理，多套 Recipe 共用针卡参数，减少重复配置；可自动生成 Recipe，也能直接转换 TEL/TSK 配方，便于旧设备平滑迁移、快速投产。
● 探针状态智能监测：搭载 PMI 针痕检测，扎针后自动采集分析针痕偏移、尺寸数据，为探针卡评估维护提供依据，稳定长期测试一致性。
A12W全自动探针台(CP测试专用）
● 场景适配覆盖面广：专为晶圆 CP 测试定制，兼容方片、大针压、Frame、WLR 等多种测试场景；支持多种 docking 对接方式，适配市面主流测试机，配套成熟整体方案，降低客户集成调试成本。
● 精度性能全面升级: 升级运动控制、视觉对准、通信反馈核心模块，搭配微米级全闭环运动控制、光学定位与全新图像算法，实现高精度自动扎针；轻量化低重心高强度卡盘，可满足大针压测试要求。
● 晶圆兼容范围更广：机械手可适配超薄、翘曲、蓝膜、Taiko 等特殊晶圆；自研一体化 hinge 结构，可对接各类测试设备。
● 自动测试高效运行: 搭载自研预对准模块，实现晶圆无损自动上下片，支持 7×24 小时不间断在片探测，晶圆传输高速安全。
● 可选低温温控配置: 可选配气冷、液冷温控方案，具备快速降温、多点测温能力，适配低温特殊测试需求。
● 探针状态智能监测: 配备 PMI 针痕检测，扎针后自动采集分析针痕偏移、尺寸数据，为探针卡评估维护提供依据，保障长期测试一致性。
