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    FA8失效分析探针台

    产品概要

    FA8失效分析探针台是专为失效分析实验室设计的一款量测设备,具光学特性、激光特性,设备结构稳定,系统性能优异,人体工程学设计,操作便捷,支持多功能升级,产品功能丰富齐全。

    基本信息

    产品型号 FA8 工作环境 开放式
    电力需求 220VC,50~60Hz 操控方式 手动探针台
    产品尺寸 960mm长*850mm宽*1500mm高 设备重量 约260KG

    应用方向

    常温和高低温环境下的芯片失效分析、射频特性器件失效分析、材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析、芯片内部线路/电极/PAD测试、IC/面板内部线路修改/去层

    技术特点

    产品特点

    ●大手柄驱动,无间隙移动 ●人体工程学设计,操作便捷舒适 ●多波段激光应用,快速切换精准切割 ●兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 ●无回程差设计,定位精准 ●空气冷却结构体积小巧,无需维护 ●高精度系统,激光加工精度可达1*1um ●领先的内部防震系统装置,运行更稳定

    失效分析探针台
    规格 FA8 FA8-SC
    外形 960mm长*850mm宽*1500mm高 880mm长*860mm宽*1550mm高
    重量 约260KG 约280KG
    电力需求 220VC,50~60Hz
    样品台 尺寸 8英寸,可360度旋转
    行程 X-Y行程8*8英寸
    移动精度 1um
    样品固定方式 真空吸附 真空吸附
    温控范围 - ﹣80~200℃
    快速拉出 -
    特殊运用 电学独立悬空,可作为背电极使用
    针座平台 规格 U型平台,最多可放置10个针座 O型平台,最多可放置12个针座
    行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;
    光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm
    放大倍数 20~4000X
    镜头切换时操作 快速倾仰/气动升降
    CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
    激光特性 波段 波长可选择1064/532/355/266nm波段
    功率 输出功率2.2mJ/pulse (可升级)
    微加工能力 可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等
    精度 最小可加工精度1*1um(配置100X镜头时)
    冷却方式 可选择风冷激光或水冷激光
    点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    机械精度 2微米/0.7微米/0.1微米
    漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
    接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
    可选附件 卡盘快速拉出装置 卡盘快速拉出装置
    液晶热点侦测套装 液晶热点侦测套装
    高压/大电流测试套装 高压/大电流测试套装
    加热台 -
    屏蔽箱 屏蔽箱
    转接头 转接头
    防震台 防震台
    镀金卡盘 镀金卡盘
    同轴叁轴卡盘 同轴叁轴卡盘
    样品台快速升降,微调升降装置选件 -
    光强/波长测试选件 光强/波长测试选件
    射频测试附件 射频测试附件
    有源探头 有源探头
    低电流/电容测试 低电流/电容测试
    光纤夹具耦合测试选件 光纤夹具耦合测试选件
    封装器件夹具 封装器件夹具
    PCB/封装夹具测试选件 PCB/封装夹具测试选件
    特殊定制 特殊定制
    应用方向 常温和高低温环境下的芯片失效分析

    特点
    失效分析实验室专用 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计,定位准确
    可做LC液晶热点侦测 激光最小可加工精度1*1um
    激光可选择性去除特定材料而不损伤下层 芯片内部线路/电极/PAD测试
    适用于IC/面板内部线路修改/去层 射频特性器件失效分析
    可升级用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析
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