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    E6增强型手动探针台

    产品概要

    E 系列是一款功能进阶级探针台,能实现 1μm 以上的电极 Pad 测试,工效学设计简单易操作,灵活的 UPStart™ 模块化设计, 客户可通过最低的成本升级更多的测试功能,如:毫米波 mmW,FA、MEMS、WLR 和光电等测试。

    基本信息

    产品型号 E6 工作环境 开放式
    电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台
    产品尺寸 680mm长*670mm宽*760mm高 设备重量 约95KG

    应用方向

    LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二极管、三极管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等

    技术特点

    POMater™ 自适应隔震底座

    自适应减震底座设计,德国进口隔震材料增强弹性支撑,实现不同程度的刚性硬度和承载范围,并有效过滤环境中的震动源干扰,确保探针末端和样品的Pad稳定接触,提升测试的稳定性

    卡盘可升降调节

    卡盘可微调升降,行程 5mm,精度 10μm,便于样品快速分离探针。

    显微镜气动式快速升降

    显微镜气动式快速升降,便于更换显微镜和探针卡夹具。

    大尺寸机台设计

    大尺寸机身结构,增强操作舒适度。更大空间的针座平台,支持 加载针卡,提升点针测试效率。

    机台定制应用案例

    1、石英样品台6英寸,玻璃样品台卡在不锈钢上,不锈钢卡盘通过立柱固定在X-Y平移台上部 2、玻璃样品台采用高透紫外线玻璃,透光波长单位200nm-1100nm透光率85%以上,样品固定方式采用弹片固定 3、两个样品台可以拆卸使用

    型号

    E4

    E6

    E8

    E12

    外形(长*宽*高/mm

    680*670*760mm

    680*670*760mm

    750*670*800mm

    1030*800*850mm

    重量(KG)

    约90kg

    约95kg

    约110kg

    约210kg

    电力需求

    220VC,50~60Hz

    卡盘

    常温标准

    卡盘尺寸

    4"

    6"

    8"

    12"

    样品固定方式

    环形真空吸附(可定制多孔吸附)

    背电极测试功能

    有,样品台电学独立悬空

    卡盘材质

    316#不锈钢(可选黄铜镀镍or镀金)

    卡盘

    移动平台

    Theta行程

    360°旋转(粗调);微调范围±8°,微调精度0.002°

    卡盘升降

    卡盘台可以上下快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1μm

    X-Y行程

    100*100mm

    150*150mm

    200*200mm

    250*250mm

    移动精度

    10μm

    卡盘快速拉出

    N/A

    控制方式

    小型旋钮驱动

    针座平台

    外形尺寸

    长550mm*宽405mm

    长720mm*宽405mm

    长980mm*宽480mm

    卡盘到平台距离

    8mm(卡盘上表面与针座平台下表面)

    针座数量

    最多可放6个针座

    最多可放8个针座

    最多可放10个针座

    针座平台升降

    N/A

    针座定位方式

    磁力吸附或真空吸附

    光学特性

    镜头规格

    标配PSM-1000金相显微镜/可选(GX-6金相,体视,视频)显微镜

    放大倍数

    20-2000X

    CCD像素

    3种CCD可选:200W(数字)/500W(数字)/650W(数字)

    运动控制

    Z 轴移动行程 50.8 mm,同轴旋钮调节,细调精度优于1μm

    显微镜行程

    显微镜2英寸XY平移台范围内移动

    显微镜移动精度

    1μm

    点针规格

    X-Y-Z行程

    12mm-12mm-12mm

    机械精度

    10μm/2μm/0.7μm

    漏电精度

    10pA/100fA (配置屏蔽箱时)

    接口形式

    香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口





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