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    TEG面板激光探针台

    产品概要

    TEG系列面板激光探针台主要是对液晶屏的TEG电路进行分析,测试电学参数,实现全自动化的一款自动测试应用设备;该产品能快速精准的对产品的性能作出分析判断,进一步对产品进行缺陷修复,大大的提高企业生产的良品率和经济效益

    基本信息

    产品型号 TEG prober-G8.5 工作环境 开放式
    电力需求 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max 操控方式 全自动
    产品尺寸 4000mm(宽)x3500mm(长)x2500 mm(高) 设备重量 约14200KG

    应用方向

    OLED/TFT-LCD 面板的TEG电学测试

    技术特点

    产品特点

    ●业界最快的测试速度,极大程度提升测试效率 ●领先的内部防震系统装置,运行更稳定 ●0.1um高精度直线电机平台 ●电学屏蔽系统,屏蔽光线和电磁干扰 ●超高的测试精度,精准测量稳定可靠 ●兼容高倍率金相显微镜,自动聚焦 ●自动清针,自动测针 ●全自动测试,数据自动读取


    面板TEG Prober
    型号 TEG prober-G6 TEG prober-G8.5
    外形 2850mm()x2500mm()x2500 mm() 4000mm()x3500mm()x2500 mm()
    重量 9700KG 14200KG
    电力需求 380V50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
    可测试液晶屏尺寸 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
    平台功能 Gantry结构 龙门式,可以选择双龙门
    X-Y-Z轴运动行程 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) 2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
    X-Y运动速度 0~600mm/s可调 探针规格 针卡 两套,可同时测试两个patten
    X-Y精度(最小移动量) 0.1um Pitch范围:定制
    X-Y重复定位精度 ±1um 探针材质:钨or铍铜等
    X-Y 轴驱动 直线电机+光栅尺 工作模式:可以单独测试,或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。
    Z 运动速度 0~10mm/s可调
    Z精度 0.25um 探针和TEG对位方式 坐标定位
    Z重复定位精度 ±1um 测试过程中的二次视觉检测
    Z轴驱动 伺服电机+光栅尺 探针和TEG的接触方式 自动接触
    Z轴保护 电机自锁+机械限位保护 探针自动保护功能:edge sensor 和机械限位,可以根据panel厚度设定限位高度,点针的OD值可设。
    样品台平整度 ±50um平整度
    样品台涂层 防静电涂层
    样品台高低温 Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200)
    光学特性 光路系统倍率: 5X ,10X ,20X50X  Objects
    探针轴旋转行程 ±90°
    放大倍率范围50X~ 500X 探针旋转精度 0.01°
    聚焦 自动聚焦 旋转重复定位精度 0.03°
    CCD 200/500万像素工业相机 探针清洁 自动清针
    光源 面背光、点背光、上光源 清洁后自动测针
    光源亮度独立可调,面背光可选择分区控制 探针台漏电精度(安装针卡的情况) 100fA 以内(测试标准:给针卡任意针脚加压—5V~+5V,在不吹N2的情况下,空载测试漏电流<100fA)吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启N2且N2测试报告体现开N2与不开N2区别)
    激光特性(选件) 激光系统 激光切割系统(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
    0-100%
    激光波长 1064nm532nm355nm
    光斑尺度 1.0um @100X  object 测试能力 测试系统 两套
    2.0um @50X  object 半导体参数测试系统:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元+高精度矩阵开关等
    工作模式 One Shot/Burst/Continue
    形状 可调节的矩形 TFT测试项目 Ion
    控制 工作模式 自动测试,CIM通讯,实现数据的自动导入和输出 Ioff
    Vth
    上下片 机械手或者流水线 Mobility
    CIM系统 Swing
    减震 被动式减震系统,能够确保点针测试的稳定性 Resistance测试项目 Rs
    工业PC 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2 Rc
    (其中一块为备份硬盘)8G内存,1G独立显卡 最大输送电压 ±200V
    通讯接口 RS232/485/TCP/IPGPIB 最大输送电流 ±1A
    安全 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作 电流测试分辨率 1fA(无需前置放大器)
    紧急开关EMO 电压测试分辨率 0.5uV
    限位sensor,运动平台和探针系统限位互锁 CV 测试频率范围 1kHz~5MHz
    Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) 接地单元电流宿能力 4.2A GNDU
    应用方向 OLED/TFT-LCD Panel TEG 电学测试

    特点:
    业界最快的测试速度
    超高的测试精度
    稳定的测试结果
    mult-probe card设计
    0.1um精度的直线电机平台
    自动清针,自动测针
    极小的针痕损伤
    全自动测试
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