我们的网站使用由我们和第三方提供的 cookies。部分cookies是网站运营所必需的,而其他 cookies您可以随时调整,特别是那些有助于我们了解网站性能、为您提供社交媒体功能、通过相关内容为您带来更好的体验和广告宣传的cookies...。

我接受
联系我们
邮件留言
中文
  • 全球-简体中文
  • Global-English
  • 产品概况 功能结构 规格参数 资料下载 视频

    H12综合型手动探针台

    产品概要

    H12综合型手动探针台是一款高端配置综合型手动测试探针台,该设备具有优异的稳定性和可操作性,且测试精度均高于业内其它品牌,独有的气控式卡盘移动技术、灵活的UPStart模块化结构设计、增强性防震系统,这些都是SEMISHARE在行业先进的创新技术优势。同时设备可支持后期扩展升级,满足客户多种测试应用需要,无论现在和将来,当客户测试需求提高或发生改变时,都可重新配置升级,真正实现一机多应用,该设备非常适合于研发中心和各大高校实验室的一步性预算购置投入

    基本信息

    产品型号 H12 工作环境 开放式
    电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台
    产品尺寸 1300MM长*920MM宽*920MM高 设备重量 约300KG

    应用方向

    适用于对纳微器件进行科研分析,抽查检测等用途。快速对晶圆上芯片的电路进行分析测试电学参数、对产品性能做判断,后续以减少芯片缺陷对产品的损失,进而提高良率。可搭载射频特性测试和可升级搭载光纤光谱特性测试。

    技术特点

    >气控式卡盘移动技术(Chuck Air bearing move)

    气控式移动平台具备快速移动卡盘功能,满足高效手动测试需要。通过对应的气浮开关,提供3种快速移动方式:单手控制X/Y方向快速移动,双手控制样品台全平面快速移动。传统的滚珠/轴承式样品台仅能实现X/Y轴单向运动,而且移动速度较慢;普通的气浮式样品台虽然能够实现样品台全平面快速移动,却不能实现X/Y轴单向精准移动定位,满足生产实测需要。而3重气控式样品台完美的结合并实现了以上两种功能。

    >显微镜气控式升降调节

    显微镜采用气控式调节可实现50mm升降,通过高品质阀门控制,高压空气进出节流精细调节,实现显微镜平稳的升降,实现方便更换物镜的同时,更好的防护物镜与夹具在测试中的意外接触损伤。

    > 三段式升降针座平台

    针座平台升降:快速(0,300um,3mm)+微调(40mm,移动分辨率2~5um),Platen所有部分能够同时升降(不存在不同时的现象),升起回落后探针在pad上针痕的x,y,z三个方向的重复性优于±1um,可重复(1μm)的针座平台有三个离散位置,用于接触,分离(300μm)和装载(3mm),并带有安全锁装置,可防止探头或晶圆意外损坏的同时,提供直观的控制和准确的接触定位,实现最准确的测量效果,该功能在高频与大功率测试中至为重要。

    气浮式自动平衡防震桌

    台面采用10CR17优质高导磁不锈钢加工的蜂窝状支撑结构。防震系统采用进口韩国大一公司的空气弹簧式支撑架的防震平台。通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计,实现该系统垂直本征频率为1.5Hz,水平本征频率为1.2Hz的低频固有频率,承重达400Kg的优异承载能力。从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响。

    >大手柄微分头驱动

    卡盘移动平台配有粗调与精调功能,精调旋钮采用业界顶级的日本Mitutoyo大手柄驱动微分头,相比于传统的小型微分头调节,操作手感更舒适、调节更顺畅且无回程差,真正实现超顺滑的手动高效测试,全面提升测试效率,节约客户测试成本。

    > 可加载激光器

    多波段激光切割系统能够加载在绝大多数应用于失效分析的显微镜上,可以实现围观层面的精确切割和选择性材质去除。精密可靠的先进激光传输系统(ABDS)可以选择不同波段应对不同材料裁剪和切割工作。镭射最大输出能量≥2.7mJ,能量可调整级数≥300。水循环冷却结构使系统更小巧和无需维护。

    H12综合型手动探针台
    综合型分析探针台
    型号 H6 H8 H12
    外形 820mm长*720mm宽*890mm高 960mm长*850mm宽*900mm高 1300mm长*920mm宽*920mm高
    重量 170公斤 约230公斤 约300公斤
    电力需求 220VC,50~60Hz
    样品台 尺寸 6英寸,可360度旋转 8英寸,可360度旋转 12英寸,可360度旋转
    行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
    移动精度 1um
    样品固定方式 真空吸附
    背电极测试功能 有,样品台电学独立悬空
    针座平台 规格 U型平台,最多可放置6个针座 U型平台,最多可放置10个针座 U型平台,最多可放置12个针座
    行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
    光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
    显微镜移动精度 1um
    切换镜头方式 显微镜快速倾仰30
    放大倍数 20~4000X
    镜头规格 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X,100X(选配)
    CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
    点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
    漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
    接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
    应用方向 晶圆测试,光电器件测试,PCB/封装器件测试,射频测试,高压/大电流测试等
    可选附件 卡盘快速拉出装置 加热台 光强/波长测试选件
    显微镜倾仰装置(倾仰30度) 高低温样品台 射频测试附件
    显微镜气动升降装置 屏蔽箱 有源探头
    激光微加工 转接头 低电流/电容测试
    探针卡夹具 防震台 兼容积分球测试选件
    显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 镀金卡盘 光纤夹具耦合测试选件
    液晶热点侦测套装 同轴叁轴卡盘 封装器件夹具
    高压/大电流测试套装 样品台快速升降,微调升降装置选件 PCB/封装夹具测试选件
    带真空底座的活动Chuck 样品台旋转微调选件 特殊定制
    特点
    稳定的结构 同轴丝杠传动结构,线性移动
    针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计
    兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 芯片内部线路/电极/PAD测试
    高等院校/研究所/公司实验室使用 LD/LED/PD的光强/波长测试
    最大可用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试

    客户服务
    采购留言

    联系电话

    0755-2690 6952 转 801/ 804/ 806/ 814

    发送邮件
    © 2020 深圳市森美协尔科技有限公司 All Rights Reserved.粤ICP备19119103号