产品概要
一款基于高校教育与实验室的经济型晶圆测试探针台 人体工程学设计操作简单 ,紧凑的结构设计大大降低了设备占有空间,在保证高精度测试的前提下,又极具性价比,如果您的测试PAD大于30um,M系列则是您在实验室中的首选设备之一。 UPStart模块化结构设计,可增加多个配件实现更多的性能,同时支持后期扩展加载升级。
基本信息
产品型号 | M4 | 工作环境 | 开放式 |
电力需求 | 220V,50~60Hz | 操控方式 | 手动探针台 |
产品尺寸 | 400mm长*400mm宽*550mm高 | 设备重量 | 约30KG |
应用方向
广泛应用于晶圆的电学光学测试,包括I-V/C-V测试,RF/mmW测试,高功率、大电流测试,MEMS、光电器件测试,晶圆级失效分析、霍尔测试等
技术特点
> 灵活的应用设计
紧凑且坚固的框架结构设计,性能稳定; 操作简单入手快 ,减少设备使用培训时间; UPStart模块化结构,支持设备后期扩展升级; 显微镜支架可360旋转,方便快速装载DUT; 卡盘角度可360旋转,微旋转调节精度0.002°,方便调节待测样品位置
> 全新升级的卡盘移动平台
封闭式移动平台设计,防尘,防误操作,结构美观; 移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能,多方面提升卡盘移动精度
>带有3段真空吸附控制的卡盘
采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品,卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径,亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转,微旋转调节精度0.002°,方便调节待测样品位置
> 坚固的TNT结构针座平台
在针座平台中心采用TNT式立柱结构支撑,配合加厚级铝合金材料提高刚性度,形成更加坚固稳定的针座平台,实现更最佳的测量效果
> 自适应减震底座
自适应减震底座设计,德国进口隔震材料增强弹性支撑,实现不同程度的刚性硬度和承载范围,并有效过滤环境中的震动源干扰,确保探针末端和样品的Pad稳定接触,提升测试的稳定性