M4简易型手动探针台
产品概要
一款基于高校教育与实验室的经济型晶圆测试探针台 人体工程学设计操作简单 ，紧凑的结构设计大大降低了设备占有空间，在保证高精度测试的前提下，又极具性价比，如果您的测试PAD大于30um，M系列则是您在实验室中的首选设备之一。 UPStart模块化结构设计，可增加多个配件实现更多的性能，同时支持后期扩展加载升级。
基本信息
| 产品型号 | M4 | 工作环境 | 开放式 |
| 电力需求 | 220V,50~60Hz | 操控方式 | 手动探针台 |
| 产品尺寸 | 400mm长*400mm宽*550mm高 | 设备重量 | 约30KG |
应用方向
广泛应用于晶圆的电学光学测试，包括I-V／C-V测试，RF/mmW测试，高功率、大电流测试，MEMS、光电器件测试，晶圆级失效分析、霍尔测试等
技术特点
> 灵活的应用设计
紧凑且坚固的框架结构设计，性能稳定； 操作简单入手快 ，减少设备使用培训时间； UPStart模块化结构，支持设备后期扩展升级； 显微镜支架可360旋转，方便快速装载DUT； 卡盘角度可360旋转，微旋转调节精度0.002°，方便调节待测样品位置
> 全新升级的卡盘移动平台
封闭式移动平台设计，防尘，防误操作，结构美观； 移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能，多方面提升卡盘移动精度
>带有3段真空吸附控制的卡盘
采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品，卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径，亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转，微旋转调节精度0.002°，方便调节待测样品位置
> 坚固的TNT结构针座平台
在针座平台中心采用TNT式立柱结构支撑，配合加厚级铝合金材料提高刚性度，形成更加坚固稳定的针座平台，实现更最佳的测量效果
> 自适应减震底座
自适应减震底座设计，德国进口隔震材料增强弹性支撑，实现不同程度的刚性硬度和承载范围，并有效过滤环境中的震动源干扰，确保探针末端和样品的Pad稳定接触，提升测试的稳定性
