硅光子测试
产品概要
基于SEMISHARE V系列半自动探针台，集成了PI六轴高精度光纤校准系统，是专为硅光子器件测试的一款高效的半自动探针台测试系统。硅光测试，实现正确的耦合十分困难，而且十分耗费时间，再有当今的硅光子元件比以往具有更高的复杂程度，具有多个互相作用的输入输出、多个通道、以及元件对准等，均需要在多个自由度上进行优化，以保证检测的进行。SEMISHARE 集成PI的对准自动化方案基于固件算法的深度工具包，能够提供精确的优化。其独特的全并行技术能够对多个自由度、跨通道的多个输入和输出进行优化，甚至可以对多个装置同时进行优化。 SEMISHARE V系列硅光子测试系统正是集成了PI六轴高精度光纤校准系统，基于六轴位移台的解决方案提供了可自由选择支点，确保用户能够通过围绕光束腰、焦点或光轴旋转的方式进行优化，从而进一步提高测试效率
基本信息
| 产品型号 | 工作环境 | ||
| 电力需求 | 操控方式 | ||
| 产品尺寸 | 设备重量 |
应用方向
技术特点
测试精度
目前业界最快的测试系统，运行速度超70mm/s，运动精度可达sub-micron级别 XY轴重复定位精度1.5µm, Z轴重复定位精度µm 可-50~200℃变温以及实现高低温环境下超高的chuck平整度 温控精度和稳定性均优于0.1℃ 三轴(signal,guard,ground)结构, 提供fA级电学测试能力和极低的寄生电容 带femto-guard™设计，具备极低的系统漏电水平 EMl, Spectral noise/光密闭屏蔽腔,提供最佳noise测试环境
