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    国产科研设备步向海外,12年自主研发创新的坚守!

    发布时间:2022-06-17来源: SEMISHARE


    近日,SEMISHARE研发生产的CG-C-2真空高低温闭循环探针台和H6综合型探针台,已货运至新加坡,安装调试完毕,交付于新加坡国立大学微电子学院使用。



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    SEMISHARE CG系列真空高低温探针台主要是为教育科研机构开发的测试测量设备,可为研究人员提供超高真空与高低温转换的测试环境,有开循环、闭循环两种方式,采用闭循环方式则不依赖于消耗冷媒即可提供超低温高真空的测试环境。主要应用领域为超低温超导材料及器件研究、新型材料器件的超低温IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、以及高频特性测试等。

    真空高低温探针台是材料、半导体科研领域的主要测试设备中的重要组成部分。长期以来,由于其应用市场的过于细分且有较高的技术门槛,该类设备一直被国外企业所垄断。SEMISHARE通过自身多年研发成果的积累及定向研发攻关,成功推出了国内自主研发的真空高低温探针台(CG系列),该产品在国内外市场都取得了不俗的成绩。

    迄今,SEMISHARE的营销网络已从中国延伸至全球并逐步形成了国际化的市场战略布局,我们在意大利,英国,俄罗斯,以色列,新加坡等国家,赢得了众多客户的信赖,并和全球多家知名科研院校建立了密切的合作关系,行业影响力也正在不断扩大。

    SEMISHARE CG系列高低温真空探针台

    • 其温度范围可达:开循环(77K(LN2)/4.5K(LHe)-770K,闭循环(7.5K-450K)温度稳定性优于±100mK ,温控器分辨率为0.1℃,传感器任一区段误差为0.5%;

    • 探针漂移量:<±10μm/30mins;

    • 漏率优于:1.3x10-10 Pa.m3/s 极限真空到5*10-4 Pa(配置250L/s分子泵);

    • 漏电精度达100FA

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    摄于新加坡国立大学微电子学院


    本次交付使用的CG-C-2真空高低温闭循环探针台,同时搭载了闭循环制冷机和控制机组。该制冷机在不消耗液氦和液氮的情况下提供超低温环境(10K甚至更低),配合高精度控温仪使用,可在整个工作范围内对样品进行精确控温,操作简单,使用维护成本低。制冷机包括两级冷台,一级冷台用于冷却样品周围的防热辐射屏,二级冷台用于冷却样品。控制机组集成了分子泵、机械泵、显示器、控制单元的集成控制机柜,操作维护方便,结构紧凑,占地面积小。


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    卡盘极限低温可达7.3K


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    温控工作台运营过程照片,A通道为样品台温度,B为屏蔽腔温度,C为二级冷头温度,D为探针臂温度

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    此次交付使用的另一台H6综合型探针台搭载的显微镜为我司自主研发的一款三倍率的显微镜,满足了市场的实际需求:在图像中能观察到三种倍率的成像效果,无需进行镜头切换以及倍率的切换,同时3种倍率的呈现满足晶圆以及实验室中绝大多数的样品,兼容性高,同时也提高了各个测试项的效率,为该设备增加一大亮点的特色。

    SEMISHARE H系列探针台具有优异的机械系统、结构稳定、符合人机工程学,并具有很多升级功能。SEMISHARE研发的气控式卡盘移动技术,可满足客户对整片晶圆高效测试的需求,机台亦可加载探针卡测试。


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    如果您想了解更多关于我司探针台产品的信息,欢迎联系我们

    电话:0755-2690 6952
    地址:深圳市宝安区翰宇湾区创新港4号楼3层
    官网:www.semishare.com
    邮箱:sales@semishare.com







    展会预告












    2022.6.29-7.1日,SEMISHARE将出席全球半导体产业(重庆)博览会,地址:重庆国际博览中心。我们的展位号:S1馆-A22。


    2022.7.5-7.7日,SEMISHARE将出席第四届深圳国际半导体展,地址:深圳市国际会展中心(宝安新馆)。我们的展位号:12号馆,4A013。


    期待您的莅临,和我们的工程师面对面交流、探讨!





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