当下,集成电路产业发展水平已成为衡量一个国家综合实力的重要标志。目前我国半导体产业虽已进入快车道发展时期,但因受制技术人才的短缺,成为了制约我国走向半导体产业规模化发展的瓶颈。如果把中国各大院校半导体相关专业毕业生和各大公司独立培养的人才数量累加,中国自己培养的半导体人才每年仅为万人量级;
近年国家对集成电路的高校教育越来越重视,从长远发展来看,只有不断加强高校教育的基础建设,实现专业人才的专项培养与储备输出,才能更加满足国家集成电路产业发展对高素质人才的迫切需求。在半导体的高校教育中,除了扎实的理论知识外,还要结合实验来进行验证,坐而论道不如起而行之,当前各高校都在积极建立自有的集成电路/微电子实验室,逐步打造产学研一体化的实践教学平台。
在大学实验室的建立改造与硬件设施的升级中,手动探针台已成为实验室里的必要测试设备。高校老师们在选择探针台设备时,不仅要在预算有限的前提下,需要考虑使用高测试精度标准的设备,同时也要顾及设备今后的重复利用率,避免教育资源成本的浪费。总结采购教育实验的探针台设备主要有如下要求:
1、合理性
● 基于大学实验室环境要求,设备在保证高精度测试的前提下,节省设备占有空间;
● 不降底专业测试标准质量前提下,提供更具有价格竞争力的探针台设备。
2、专业性
● 操作更简单方便,最大限度减少使用操作培训工作时间
● 性能稳定,测试精度高
● 可快速获取测量数据
3、灵活性
● 应用性强,根据不同的测试需求任意搭载测试模块;
● 功能性高,当需求提高和增加时,可重新进行设备升级和功能扩展。
手动探针台在高校实验中常见的几种测试应用:
1、IV/CV直流测试
IV/CV直流测试包括:同轴(coaxial)-直流参数测量,漏电低至PA级别、三轴(triaxial)-直流参数测量,漏电低至FA级别/低噪声
晶圆(IV、CV)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是晶圆级MOSFET结构等。此外利用IV、CV测量还可以对其它类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管BJT、JFET器件,光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管和多种其它半导体器件。这类测试非常适用于各种器件性能的基础分析,从而提高工艺和器件的性能,检测工艺参数和失效分析机制等。
2、RF射频测试
RF射频测试包括67GHz射频测试、毫米波(mmW)-70GHz到Sub-THz和负载牵引测试、太赫兹(THz)和负载牵引测试。
RF射频测试需求主要涵盖RF功率及RF杂讯特性描述之大小讯号量测、S参数、讯号源、负载拉移阻抗匹配等 。由于晶圆级 RF 测试仪器(如:网路分析仪、升频器、阻抗调谐器、耦合器、Bias-Ts 及许多其他系统元件)之架设整合具高复杂性及需求特殊性。因此这些应用皆挑战探针台系统的机械稳定性、最短传输路径、量测最佳方向性、长时间于不同类型金属待测物上重复且高一致性的点测能力、以及是否可精准校正至待测物端之能力。
3、高功率/大电流测试
高功率分离式元件(例如功率电晶体、功率二极体、闸流体等且元件方向性为垂直/横向者)或高功率放大器之电性量测皆属高功率元件测试。以 500 V(高电压)以上及/或 1 A(高电流)以上之脉冲或直流电进行量测。高功率元件的晶圆特性描述应用面临以下挑战:晶圆载台至晶圆背面之接触电阻/高电流元件金属垫层烧坏毁损/在高电压及各温度条件下进行低漏电流量测/高电压电弧/薄晶圆处理/安全的测试环境。
通过我们SEMISHARE在高校/实验室多年积累的市场成功案例,综合以上客户需求我们推荐以下三款手动探针台方案供客户参考:
>M系列简易小型探针台
一款基于高校教育与实验室的经济型晶圆测试探针台,人体工程学设计操作简单,紧凑的结构设计大大降低了设备占有空间,在保证高精度测试的前提下,又极具性价比,如果您的测试PAD大于30um,M系列则是您在实验室中的首选设备之一。
>E系列经济型探针台
优异的机械系统,结构性能稳定,操作更便捷,同时支持多功能升级,产品功能更丰富。兼容高倍率金相显微镜,可微调移动;同轴驱动卡盘,移动精度高; 精密丝杆传动结构,系统高精度运动。
>H系列综合型探针台
该设备具有优异的稳定性和可操作性,气控式卡盘移动技术、灵活的UPStart模块化结构设计,实现一机多应用、增强性防震系统,设备可支持后期扩展升级,满足多种测试应用需要,无论现在和将来当测试需求提高或发生改变时,都可重新配置升级,该设备非常适合于研发中心和各大高校实验室的一步性预算购置投入。
近几年,SEMISAHRE通过与国内各高校的紧密合作,以及在探针台领域多年的自主创新技术,我们为客户提供了诸多的定制化测试解决方案。SEMISHARE科技致力于为高校客户提供先进稳定可靠的测试教学方案,为未来国家培养输送更多的创新研发性人才,共同提升中国半导体领域先进的技术研发实力。