测试技术
高功率分离式元件（例如功率电晶体、功率二极体、闸流体等且元件方向性为垂直／横向者）或高功率放大器之电性量测皆属高功率元件测试。
以 500 V（高电压）以上及／或 1 A（高电流）以上之脉衝或直流电进行量测。高功率元件的晶圆特性描述应用面临以下挑战：晶圆载台至晶圆背面之接触电阻/高电流元件金属垫层烧坏毁损/在高电压及各温度条件下进行低漏电流量测/高电压电弧/薄晶圆处理/安全的测试环境
8inch晶圆i-v ，c-v曲线，P-iv 测试
0.5微米线路内部点针，100fA 以内漏电精度，-60℃~200℃温度控制
