测试技术
高功率分离式元件(例如功率电晶体、功率二极体、闸流体等且元件方向性为垂直/横向者)或高功率放大器之电性量测皆属高功率元件测试。
以 500 V(高电压)以上及/或 1 A(高电流)以上之脉衝或直流电进行量测。高功率元件的晶圆特性描述应用面临以下挑战:晶圆载台至晶圆背面之接触电阻/高电流元件金属垫层烧坏毁损/在高电压及各温度条件下进行低漏电流量测/高电压电弧/薄晶圆处理/安全的测试环境
8inch晶圆i-v ,c-v曲线,P-iv 测试
0.5微米线路内部点针,100fA 以内漏电精度,-60℃~200℃温度控制