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产品名称: FA系列失效分析探针台

产品型号: FA

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产品详情


失效分析探针台
规格 FA-8 FA-8-SC
外形 960mm*850mm*1500mm 880mm*860mm*1550mm
重量 260KG 280KG
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 8英寸,可360度旋转
行程 X-Y行程8*8英寸
移动精度 1um
样品固定方式 真空吸附 真空吸附
温控范围 - 80~200
快速拉出 -
特殊运用 电学独立悬空,可作为背电极使用
针座平台 规格 U型平台,最多可放置10个针座 O型平台,最多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm
放大倍数 20~4000X
镜头切换时操作 快速倾仰 气动升降
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
激光特性 波段 波长可选择1064/532/355/266nm波段
功率 输出功率2.2mJ/pulse
微加工能力 可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等 
精度 最小可加工精度1*1um(配置100X镜头时)
冷却方式 可选择风冷激光或水冷激光
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
可选附件 卡盘快速拉出装置 卡盘快速拉出装置
液晶热点侦测套装 液晶热点侦测套装
高压/大电流测试套装 高压/大电流测试套装
加热台 -
屏蔽箱 屏蔽箱
转接头 转接头
防震台 防震台
镀金卡盘 镀金卡盘
同轴叁轴卡盘 同轴叁轴卡盘
样品台快速升降,微调升降装置选件 -
光强/波长测试选件 光强/波长测试选件
射频测试附件 射频测试附件
有源探头 有源探头
低电流/电容测试 低电流/电容测试
光纤夹具耦合测试选件 光纤夹具耦合测试选件
封装器件夹具 封装器件夹具
PCB/封装夹具测试选件 PCB/封装夹具测试选件
特殊定制 特殊定制
应用方向 常温和高低温环境下的芯片失效分析




特点
失效分析实验室专用 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计,定位准确
可做LC液晶热点侦测 激光最小可加工精度1*1um
激光可选择性去除特定材料而不损伤下层 芯片内部线路/电极/PAD测试
适用于IC/面板内部线路修改/去层 射频特性器件失效分析
可升级用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析

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