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产品名称: 半自动分析探针台

产品型号: Model SHCV series

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产品详情


半自动分析探针台
型号 SHCV-6 SHCV-8 SHCV-12
外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm
重量 180KG 250KG 380KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
Chuck 尺寸 6英寸 8英寸 12英寸
X-Y轴行程 6*6英寸 8*8英寸 12*12英寸
X-Y轴移动解析度 0.1um
X-Y轴重复定位精度 ±1um
移动速度  50 mm/sec
Z轴行程 10mm
Z轴移动解析度 0.1um
Z轴重复定位精度 ±1um
Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001°
样品固定方式 多孔真空吸附,独立分区控制
切换样品功能 样品台快速拉出
结构 同轴高压设计,镀金,电学独立悬空,可作为背电极使用
针座平台 规格 O型平台,最多可放置8个针座 O型平台,最多可放置10个针座 O型平台,最多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能
温控特性 温度范围 100~200 80~200 60~200
温控精度 温度分辨率  0.01°C
加热电源 LVDC 低压直流
最低控温速率 ±0.1°C  /小时
传感器 Pt100
制冷方式 液氮制冷或者压缩机制冷
软件功能 wafer map的编辑 光学特性 显微镜行程 2*2inch
仪器的接入 显微镜行程 1um
数据的采集和图像化显示 放大倍数 20-4000X
数据的分析 CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
差异数据的标定Ink mark 点针规格 点针精度 10微米/2微米/0.7微米
自定义Bin X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
自动测试 漏电精度   10pA/100fA
通讯接口:RS232/484TCP/IP/,GPIB 接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMASHV接口
大功率规格 配置 大功率kelvin样品台 减震 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
大功率夹具线缆 可选附件 射频测试 chuck快速拉出装置
mult-pin 分流探针 卡盘镀金 PCB板夹具
大功率保护模块(针座用) 激光修复 液晶热点侦测套装
保护红外光幕,防止人员误进入工作区,触发时interlock互锁 探针卡夹具 光强/波长测试接口部件
大功率仪器连接模块 屏蔽箱 高低温样品台(-80~200℃)
最大测试电压 10KV 加热台 显微镜倾仰装置
最大测试电流 500A(脉冲) 应用方向 晶圆测试,功率器件半自动测试
特点:
Si/SiC/GaN等晶圆测试 超高的测试精度和测试效率
大功率晶圆测试 便捷的仪器接入
-80~200℃)高低温Chuck 半自动测试
20~4000X光学显微放大 可升级全自动测试
功能丰富的测试软件 可升级射频测试



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