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产品名称: 高低温真空探针台

产品型号: Model SCG series

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产品详情


高低温真空探针台
型号 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG--C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 170KG 190KG 290KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
样品台 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片
样品台移动 固定的样品台
真空度 10^-10torr最高真空
光学特性 显微镜行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍数 变焦:7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜(20X~1000X
真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
温控规格 制冷方式 液氮/液氦 制冷压缩机
控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制 闭循环自动控制
控温范围 77K~450K/4.2K~450K 4.2K~450K
控温分辨率 0.001K
温度稳定性 4.2K   ±0.2K                  77K   ±0.1K
373K   ±0.08K                  473K  ±0.1K
      823K   ±0.2K(可选)            973K  ±1.0K(可选)
常温到8K冷却时间 90min 150min
8K到常温升温时间 90min 90min
常温开始的升温时间  100        150           200
30min        50min           80min
加热电源  LVDC 低压直流
传感器 硅二极管
传感器数量 样品台,防辐射屏,探针臂各一个
功率 50W/100W/500W/1000W
点针规格 探针数量 2/4/6
探针调节 真空波纹管外部调节,手动控制
点针精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏电精度   10pA/100fA
接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口
可选附件 防震桌
多级压缩制冷机
机械泵/分子泵组/离子泵
射频部件
Chuck运动装置
电磁铁系统/超导磁铁系统
1Mpa正压系统升级
超高温升级选件
超高真空升级选件
客户特殊定制
应用方向 高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等
特点
可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~450K 可升级加载磁场
防辐射屏设计,样品温度均匀性更好 支持光纤光谱特性测试
兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 器件的高频特性(支持最高67GHz频率)
探针热沉设计 LD/LED/PD的光强/波长测试
自动流量控制 材料/器件的IV/CV特性测试



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