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产品名称: SE系列晶圆测试探针台

产品型号: SE

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产品详情


晶圆测试探针台
型号 SE-4 SE-6 SE-8 SE-12
外形 580mm*620mm
*730mm
640mm*700mm
*730mm
660mm*660mm
*700mm
1030mm*820mm
*730mm
重量 70KG 80KG 85KG 180KG
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 4英寸,可360度旋转 6英寸,可360度旋转 8英寸,可360度旋转 12英寸,可360度旋转
X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
Z轴行程 6mm(快速切换)/6mm(微调)
移动精度 10um/1um
样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有,样品台电学独立悬空
针座平台 U型平台,最多可放置6个针座 U型平台,最多可放置8个针座 U型平台,最多可放置10个针座 U型平台,最多可放置12个针座
光学特性  显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30       1
放大倍数 16~100X/20~4000X
镜头规格 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X100X(选配)
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装夹具测试,射频测试等。
可选附件  显微镜倾仰装置(倾仰30度)
显微镜气动升降装置
激光微加工
探针卡夹具
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
液晶漏电分析套装
高压/大电流测试套件
加热台
高低温样品台
屏蔽箱
转接头
防震台
镀金卡盘
同轴叁轴卡盘
样品台快速升降,微调升降装置选件
样品台旋转微调选件
光强/波长测试选件
射频测试附件
有源探头
低电流/电容测试
兼容积分球测试选件
光纤夹具耦合测试选件
PCB/封装夹具测试选件
特殊定制
特点 1.显微镜龙门柱式设计,可使显微镜在平面内移动。
2.显微镜可倾仰或气动升降,便于更换物镜。
3.可升级做射频,大电流方面的测试和激光修复应用。
4.同轴驱动卡盘,移动精度高。
1 配置体式显微镜(放大倍数16~100X)时显微镜固定,无需切换镜头
特点
紧凑的结构 同轴丝杠传动结构,线性移动
实惠的价格 无回程差设计
兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 1微米以上电极/PAD测试
高等院校/研究所/公司实验室使用 LD/LED/PD的光强/波长测试
最大可用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试

地址:深圳市宝安区西乡恒丰工业城C1栋3楼电话:0755-26906952 0755-26901912

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