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产品名称: LCVD激光修复机

产品型号: Model LCVD series

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产品详情


LCVD激光修复机
型号 LCVD-G6 LCVD-G8.5
外形 2,850mm()x2,500mm()x2,500 mm()  4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)
重量 7500公斤 10500公斤
电力需求 380V50Hz, 3Phase, approx. 40A Max 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max
可修复产品尺寸 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
修复能力 沉积材质 W,Cr,Mo,Al 激光特性 激光系统 DPSS激光切割系统
沉积线路速度 5~10um/s(厚度5000 ) CW激光沉积系统
单处缺陷修复时长 定位后,修复单处缺陷时间在5s左右 能量调节精度 0-1000 steps
工艺参数 软件可以添加任意组工艺参数 0-100%
Cutting宽度 2um50um可调 Slit 窗口调节大小 0~2.4mm
沉积宽度 3um30um可调 Slit 窗口控制精度 1um
沉积边缘精度 +-0.5um 激光能量校准方式 自动校准
沉积厚度 2000  ~15000Å可调 校准时间 3mins
沉积线路的电阻值 <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 ) 激光能量校准精度 优于2%
沉积稳定性 1.清洗机清洗次数>10 times 激光波长 Cut Laser :IR 1064nmGRN 532nmUV 266nm
2.棉签蘸丙酮擦拭>500 CVD CW laser :NUV/UV
3.强酸碱测试>1H 脉宽 < 12 ns
3.毛刷擦拭>1H 光斑尺度 2.0~ @50X  object  1064nm (在标准mask上测试)
4.超声波1MHZ>1H 扫描面能量均匀性 优于5% IR
平台功能 Gantry结构 龙门式 激光寿命 Cut Laser:10亿次激发
X-Y-Z运动行程 LVCD-G6  1500 *1850*58mm(X-Y-Z) CVD CW laser: 8000小时
LVCD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) 修复工作模式 Scan扫描式和 Step模式
X-Y运动速度 0~400mm/s可调 扫描路径 可任意定义路径
精度(最小移动量) 0.1um 控制 工作模式 自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯手动或者半自动修复
Z 运动速度 0~2mm/s可调
精度(最小移动量) 0.1um 上下片 机械手或者流水线
重复定位精度 +-5um CIM系统
修复对位精度 0.1um 减震 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
光学特性 光路系统倍率: 50X~ 1000X
5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects 工业PC 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM
光学分辨率 0.7um
物镜切换速度 0.2~0.7s 通讯接口 RS232/EtherCAT/GPIB
切换镜头偏差 小于3um 安全 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作
聚焦 激光自动聚焦 紧急开关EMO
相机 200万像素 限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁
照明 平台有下光源,并且能够上下光源切换,屏蔽罩内安装照明,照度达到1000lux以上。 Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) 
应用方向 TFT-LCD  OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复
特点:
稳定的修复结果 功能丰富的软件
超高的修复精度 可以编辑修复形状
0.1um精度的直线电机平台 自动AOI定位
极小的损伤 可做多工位设计
1um的激光精度 自动上下片



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