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深圳鑫志尚电子有限公司
晶圆高低温测试

 

测试对象:

8inch/12inch 晶圆i-v ,c-v曲线,P-iv 测试 

 

设备配置:

semishare SC-8 晶圆探针台(20-1000X光学放大)+semishare HCT-80 高低温卡盘+semishare SS-700-D 探针座*4(0.1微米精度)+semishare 防震屏蔽系统 + keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)

 

测量精度:

0.5微米线路内部点针,100fA 以内漏电精度,-80℃~200℃温度控制 

 

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