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深圳鑫志尚电子有限公司
低温真空测试

 

 

 

测试对象:

4inch以内晶圆,材料,器件i-v ,c-v曲线,电阻率,霍尔测试 

 

设备配置:

semishare SCG-4 低温真空探针台(20-240X光学放大)+探针座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系统 + keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)

 

测量精度:

40微米以上电极点针测试,100fA 以内漏电精度,4~500K 温度测试范围,1mK温控精度,100mK温度温度性 

 

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