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深圳鑫志尚电子有限公司
10KV高功率器件测试方案---型号:SHV
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测试对象:IGBT,SiC等大功率器件反向截止电压和正向电流动,静态测试,偏压c-v测试,Q值测试

 

设备配置:semishare SHV-6 晶圆探针台(20-100X光学放大)+semishare HT-550-6-HV 高压型高温卡盘+semishare SS-100 探针座*4(0.7微米精度)+semishare 光幕保护防震系统 

 

高压源表:keysight B1505B 或者Keithley 4200 PCT-4或者Stanford research PS365或者IWATSU's CS3000 curve tracer

 

测试能力: 电压:10KV,电流:300A , 样品RT~550℃精确温度控制 

 

  

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