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TFT/OLED 面板修复方案---型号:semishare LCVD
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 SEMISHARE LCVD系列激光修复系统

1.        CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而提高良率。
       CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,修复短路,断线,以减少线缺陷,进而提高良率。
 
2.        连线效果
 
成膜规格:
         材质:Cr,Mo,W,Al
         最小线宽:2 micron
 
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