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产品名称: TFT/OLED 面板修复方案

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 SEMISHARE LCVD系列激光修复系统

1.        CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而提高良率。

           CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,修复短路,断线,以减少线缺陷,进而提高良率。


2.        连线效果

 成膜规格:

         材质:Cr,Mo,W,Al

         最小线宽:2 micron



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