解决方案

产品名称: 超高气压环境探针台

产品文档: 无

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测试对象:

4inch以内晶圆真空和高压环境下,材料,器件i-v ,c-v曲线,电阻率,霍尔测试 


设备配置:

semishare SCG-4 高低温高压探针台(20-240X光学放大)+探针座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系统 + keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)


测量精度:

40微米以上电极点针测试,10^-14Pa~ 1Mpa压力可调,100fA 以内漏电精度,4~500K 温度测试范围,1mK温控精度,100mK温度温度性 

地址:深圳市宝安区西乡恒丰工业城C1栋3楼电话:0755-26906952 0755-26901912

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