解决方案

产品名称: SHCV系列半自动探针台

产品文档: 无

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测试对象:

8/12inch晶圆i-v ,c-v曲线,P-iv 半自动测试  

设备配置:

semishare SHCV-8/SHCV-12 半自动晶圆探针台(20-1000X光学放大)+ ERS 高低温卡盘或者semishare HCT-80 高低温卡盘+semishare SS-700-D 探针座*4(0.1微米精度)+semishare 防震屏蔽系统 + keithley 4200 SCS 半导体参数测试系统(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)

测量精度:

0.5微米线路内部点针,100fA 以内漏电精度,-60℃~200℃温度控制 




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